Wartungsvertrag und Stundenkonto für Reinraum Messtools Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2023-001
Bekanntmachung vergebener Aufträge
Ergebnisse des Vergabeverfahrens
Dienstleistungen
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Ort: Frankfurt (Oder)
NUTS-Code: DE403 Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Beschaffung
E-Mail:
Telefon: +49 335-5625-359
Fax: +49 335-5625-25359
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/
Abschnitt II: Gegenstand
Wartungsvertrag und Stundenkonto für Reinraum Messtools
Ausschreibung für "Wartungsvertrag für 2 Messgeräte von KLA über 2 Jahre"
Laufzeit 2 Jahre, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. Overlay-Tool "Archer-A 100 AIM"
S/N: 6032378
2. Schichtdicken-Tool "SpectraFx200"
S/N: 200608080725
Und ein Messgerät von KLA über 1 Jahr
3. Schichtdicken-Tool "SpectrafilmF1"
S/N: 7271531
Der Wartungsvertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance, der jeweiligen Anlagen nach Herstellerangaben, beinhalten (vorbeugende Instandhaltung oder "PM", Mängel- und Fehlerbeseitigung, etc.).
Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall (tool down order) ist innerhalb von mindestens 72 Stunden (3 Tage) werktags zu realisieren.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Über den Wartungsvertrag sollen bei Bedarf Ersatz- und Verschleißteile mit budgetiert und beschafft werden.
Kosten für Unterbringung, für An- und Abreise des Servicepersonals bei Service vor Ort sind durch den Wartungsvertrag abzudecken.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software der Messgeräte.
Ausschreibung für "Stunden-Konto für 1 Messgerät von KLA für 1 Jahr"
Laufzeit 1 Jahr, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. CD-SEM "eCD2"
S/N: 1032
Das Stunden-Konto soll für ein Jahr, 50 Stunden Personalkosten beinhalten.
Die Arbeit über das Stunden-Konto muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software des Messgerätes.
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)
Ausschreibung für "Wartungsvertrag für 2 Messgeräte von KLA über 2 Jahre"
Laufzeit 2 Jahre, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. Overlay-Tool "Archer-A 100 AIM"
S/N: 6032378
2. Schichtdicken-Tool "SpectraFx200"
S/N: 200608080725
Und ein Messgerät von KLA über 1 Jahr
3. Schichtdicken-Tool "SpectrafilmF1"
S/N: 7271531
Der Wartungsvertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance, der jeweiligen Anlagen nach Herstellerangaben, beinhalten (vorbeugende Instandhaltung oder "PM", Mängel- und Fehlerbeseitigung, etc.).
Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall (tool down order) ist innerhalb von mindestens 72 Stunden (3 Tage) werktags zu realisieren.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Über den Wartungsvertrag sollen bei Bedarf Ersatz- und Verschleißteile mit budgetiert und beschafft werden.
Kosten für Unterbringung, für An- und Abreise des Servicepersonals bei Service vor Ort sind durch den Wartungsvertrag abzudecken.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software der Messgeräte.
Ausschreibung für "Stunden-Konto für 1 Messgerät von KLA für 1 Jahr"
Laufzeit 1 Jahr, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. CD-SEM "eCD2"
S/N: 1032
Das Stunden-Konto soll für ein Jahr, 50 Stunden Personalkosten beinhalten.
Die Arbeit über das Stunden-Konto muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software des Messgerätes.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt V: Auftragsvergabe
Auftragsvergabe KLA-Tencor GmbH
Postanschrift: Moritzburger Weg 67
Ort: Dresden
NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 01109
Land: Deutschland
E-Mail:
Telefon: +49 351828020
Internet-Adresse: http://www.kla-tencor.com
Abschnitt VI: Weitere Angaben
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDY1CBL9QXQ
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Ort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland
Telefon: +49 331/866-1719
Fax: +49 331/866-1652