Fraunhofer IPMS – Ellipsometer Referenznummer der Bekanntmachung: E_848_219902 ChrPat-bla
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.fraunhofer.de
Adresse des Beschafferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de
Abschnitt II: Gegenstand
Fraunhofer IPMS – Ellipsometer
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den Inline Betrieb im Reinraum. Es sollen Wafergrößen von 300 mm und optional 200 mm bedient werden. Insbesondere entsteht sowohl eine technische Redundanz und die Möglichkeit zukünftige Anforderungen an diese Messmethode mittels DBS / SE / SWE zuverlässig zu Messen.
Fraunhofer IPMS
01109 Dresden
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den Inline Betrieb im Reinraum. Es sollen Wafergrößen von 300 mm und optional 200 mm bedient werden. Insbesondere entsteht sowohl eine technische Redundanz und die Möglichkeit zukünftige Anforderungen an diese Messmethode mittels DBS / SE / SWE zuverlässig zu Messen.
— Flatness Measurement Sytem,
— Second 300 mm Loadport,
— 200 mm Wafer Size Funtionality.
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben
1. Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre,
2. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB),
3. Eine Bereitschaftserklärung Ihrer Bank (in Schriftform oder Textform), dass erst nach einer eventuellen Zuschlagserteilung, eine Bankbürgschaft gemäß Ausschreibungsmuster, ausgestellt wird.
„Achtung“
Dieser Punkt gilt nicht bei einem Einsatz von Subunternehmern. Der Subunternehmer muss keine Erklärung der Bank abgeben.
1. Firmenprofil,
2. Referenz von vergleichbaren Projekten, nicht älter als 3 Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung).
„Achtung“:
Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen die Vergleichbarkeit der Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung.
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Abschnitt IV: Verfahren
Abschnitt VI: Weitere Angaben
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§ 134 GWB),
— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher oder englischer Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden.
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Postanschrift:[gelöscht]
Ort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]
Internet-Adresse: http://www.fraunhofer.de