Offizielle Bezeichnung:[gelöscht]
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Ort: Ilmenau
NUTS-Code: DEG0F Ilm-Kreis
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland
E-Mail: [removed]

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: http://www.tu-ilmenau.de

Chemisch-Mechanische Poliermaschine (CMP) – Projekt ForLab

Referenznummer der Bekanntmachung: TU-025/20-201-ZMN

Lieferauftrag

Im Rahmen des Projektes ForLab NSME wird eine Prozesslinie zur Fertigung neuromorpher Elektronik aufgebaut. Innerhalb dieser Prozesslinie wird eine chemisch-mechanische Polieranlage (CMP) zur Planarisierung der Prozesstopografie benötigt. Diese soll den Aufbau komplexer Systemarchitekturen im Materialsystem Nb/SiO2 mit einer Vielzahl von Aufbauebenen ermöglichen. Sie ist darüber hinaus Voraussetzung für die heterogene (back-end) Integration der Technologie auf CMOS-prozessierten Wafern. Bei beiden Prozessen müssen störende Topographieeffekte reduziert werden, um die angestrebte Performance zu erreichen. Weiterhin muss die Anlage geeignet sein, quadratische LTCC-Substrate mit Schichtaufbauten z. B. aus Aluminiumnitrid zu planarisieren.

12/06/2020

Bekanntmachungsnummer im ABl.: 2020/S [removed]

Abschnitt Nummer: IV.2.6)

Stelle des zu berichtigenden Textes: Bindefrist des Angebots

Anstatt:

muss es heißen:

Das Angebot muss gültig bleiben bis: 20/08/2020