Clustertool mit 2 ALD Reaktoren, Handlingsystem für 200 mm Wafer Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2018-034

Bekanntmachung vergebener Aufträge

Ergebnisse des Vergabeverfahrens

Lieferauftrag

Legal Basis:

Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
IHP GmbH
2018/S 128-291201
Im Technologiepark 25
Frankfurt (Oder)
15236
Deutschland
Kontaktstelle(n): S. Rohner
E-Mail:
NUTS-Code: DE403

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: www.ihp-microelectronics.com

I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Forschung und Entwicklung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

Clustertool mit 2 ALD Reaktoren, Handlingsystem für 200 mm Wafer

Referenznummer der Bekanntmachung: IHP-2018-034
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38000000
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

1 Vektorieller Netzwerkanalysator mit folgenden Eigenschaften:

- Frequenzbereich: durchgehender Sweep von fmin <= 1 kHz bis fmax >= 120 GHz, funktional bis 130 GHz,

- 4 Ports,

- 1 mm Verbindungen an den Erweiterungsmodulen,

- Eingebaute Force/Sense Bias-Tees (=>50 V, >=0,5 A) an allen Ports + alle notwendigen Verbindungskabel für den Force/Sense Betrieb,

- Ausgangsleistungsbereich: <-50 dBm bis >0 dBm im gesamten Frequenzbereich,

- garantierter Rauschpegel: <=-105 dBm von 1 GHz bis 95 GHz an allen Ports,

- Amplitudenstabilität: besser +/-0,015 dB nach 24 Stunden über den gesamten Frequenzbereich,

- Phasenstabilität: besser +/-0.15 Grad nach 24 Stunden über den gesamten Frequenzbereich,

- Empfängerabschwächer an allen Ports des Grundgerätes (0dB to >= 30dB),

- eingebauter Rauschempfänger bis mindestens 50 GHz,

- Volle Kompatibilität mit der Software IC-CAP Version 2018 oder neuer.

II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
Wert ohne MwSt.: 900 000.00 EUR
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE403
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

1) Vektorieller Netzwerkanalysator mit folgenden Eigenschaften:

- Frequenzbereich: durchgehender Sweep von fmin <= 1 kHz bis fmax >= 120 GHz, funktional bis 130 GHz,

- 4 Ports,

- 1mm Verbindungen an den Erweiterungsmodulen,

- Eingebaute Force/Sense Bias-Tees (=>50 V, >=0,5 A) an allen Ports + alle notwendigen Verbindungskabel für den Force/Sense Betrieb,

- Ausgangsleistungsbereich: <-50 dBm bis >0 dBm im gesamten Frequenzbereich,

- garantierter Rauschpegel: <=-105dBm von 1GHz bis 95GHz an allen Ports,

- Amplitudenstabilität: besser +/-0,015 dB nach 24 Stunden über den gesamten Frequenzbereich,

- Phasenstabilität: besser +/-0,15 Grad nach 24 Stunden über den gesamten Frequenzbereich,

- Empfängerabschwächer an allen Ports des Grundgerätes (0 dB to >= 30 dB),

- eingebauter Rauschempfänger bis mindestens 50 GHz,

- volle Kompatibilität mit der Software IC-CAP Version 2018 oder neuer.

- unterstützete Messmethoden/Softwaremodule für:

-- Echt differenzielle Messung,

-- Gepulsed RF Messungen (<100ns Pulsweite) an allen Ports,

-- Spektrumanalyse,

-- Verstärkungskompression,

-- Intermodulationsverzerrung,

-- Messungen mit Frequenzversatz, z. B. Mischer,

-- Mischermessungen,

-- Differenzielle und I/Q Bauelemente,

-- Rauschzahl,

-- Berechnung der Messunsicherheit in Echtzeit.

- GPIB, LAN und USB Schnittstellen zur ,Fernsteuerung,

- Rack mount Kit mit Handles

- 5 Jahre Garantie,

- 4 Vor Ort Kalibrierungen.

2) 1 mm Kalibrierkit für Pos 1

- DC - 120 GHz

3) Leistungsmesser passend zu Pos 1

- Leistungsbereich: <-35 dBm to >+20 dBm,

- DC - 120 GHz,

- 1mm Verbinder,

- 1 mm(f) auf N(m) Adapter,

- Direkte USB Verbindung zum System in Pos 1 (~1,5 m Kabellänge),

- 5 Jahr Garantie,

- 4malige Kalibrierung.

4) 1 mm flexibles Koaxialkabel

- Modenfreier Betrieb bis 120 GHz,

- Male female,

- 10 cm lang.

II.2.5)Zuschlagskriterien
Kostenkriterium - Name: Preis / Gewichtung: 40 %
Kostenkriterium - Name: Garantierter Rauschpegel von 1 GHz bis 95 GHz / Gewichtung: 12 %
Kostenkriterium - Name: Max. Ausgangleistung im gesamten Frequenzbereich / Gewichtung: 12 %
Kostenkriterium - Name: Min. Ausgangsleistung im gesamten Frequenzbereich / Gewichtung: 12 %
Kostenkriterium - Name: Obere Frequenz / Gewichtung: 12 %
Kostenkriterium - Name: Untere Frquenz / Gewichtung: 12 %
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems
IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation

Abschnitt V: Auftragsvergabe

Auftrags-Nr.: 2181335
Bezeichnung des Auftrags:

Clustertool mit 2 ALD Reaktoren, Handlingsystem für 200 mm Wafer

Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja
V.2)Auftragsvergabe
V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses:
21/08/2018
V.2.2)Angaben zu den Angeboten
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein
V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde
Keysight Technologies Deutschland GmbH
Böblingen
Deutschland
NUTS-Code: DE112
Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein
V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 748 970.00 EUR
V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Heinrich-Mann-Allee 107
Potsdam
14473
Deutschland
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
07/02/2019